在线式Nanotech半导体清洗机
特点:
●百级无尘车间中,适用于单面点接触式清洗LCD玻璃、PCB以及其它半导体材料。
●设备主要包括传输机构,空气清洁系统,过滤循环装置,电器系统等组成。
●化学清洗配备高效循环过滤系统,保证玻璃表面的清洁度,提高清洗效率,降低使用成本。
●在线式清洗,可实现大批量生产。
●不锈钢+亚克力组合机身,清洗作业流程可视。顶部可升降,方便维护保养机器。
●多种配置模式:
化学清洗+真空发生器(干燥)
DI水清洗+真空发生器(干燥)
400KH z—1MHz 超声波频率(可选)
技术参数:
适用工件尺寸:
min : 110(L)*45mm
max : 600(L)*800mm(W)
有效清除率:90%以上(5um)
外部气源:0.45-0.7Mpa
耗气量: 400-600 L/Min
液体加热功率: 3KW
清洗过滤精度:0.10μm
电源供应:AC/220V/50HZ /20A
机器净重:300Kg
外形尺寸: 820mm(L)×1170mm(W)×1800mm(H)